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期刊详情 :

全名/缩写Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS
J MICRO-NANOLITH MEM
期刊ISSN1932-5150
2024-2025影响因子2.000
最新自引率14.70%
期刊官方网站http://www.spie.org/publications/journals/journal-of-micro/nanolithography-mems-and-moems
是否OA开放访问No
通讯方式SPIE-SOC PHOTOPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS, 1000 20TH ST, PO BOX 10, BELLINGHAM, USA, WA, 98225
涉及的研究方向ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE &
出版国家或地区UNITED STATES
出版年份2007
年文章数77
中科院JCR分区大类:工程技术小类:工程:电子与电气
SCI期刊coverageScience Citation Index Expanded
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